时间: 2025年6月16日（周一）上午10:00-12:00

地点: 校本部东区翔英大楼T516

讲座: 面向光谱学应用的光学MEMS干涉仪电路

演讲者: Diaa Khalil，教授，Ain Shams大学

演讲者简介：

Diaa Khalil，埃及Ain Shams大学教授，研究兴趣包括在光学、光电子学、应用光谱学、光学MEMS和集成光学等领域。目前担任埃及Ain Shams大学工程学院的教授以及Si-Ware Systems公司光学MEMS部门的首席技术官。凭借创新开发的FTIR MEMS光谱仪，在2014年美国SF举行的Photonics West会议上获得了Prism奖。同时他也是《Light: Science and Applications》的编辑委员会成员。拥有约16项国际专利和10多项其他专利申请。目前在国际期刊和会议上出版270多篇论文，此外还参与SPIE出版的3本书撰写和1本电子书。

讲座摘要：

近年来，开发适用于不同应用的芯片级光学干涉仪引起了广泛的研究热潮。光学MEMS（微机电系统）技术的应用，已成功实现了此类光学干涉仪的微型化，从而能够在单个芯片上构建光谱仪。这为在单一芯片上以并联或串联方式集成多个干涉仪提供了可能性，从而构建出用于实现特定或更复杂功能和应用的光谱分析电路。在本次报告中，我们将首先介绍用于构建迈克尔逊干涉仪和法布里-珀罗干涉仪及其规格的深反应离子刻蚀（DRIE）光学MEMS技术，由此切入探讨这一主题。随后，我们将阐述如何利用串联和并联干涉仪配置来提升光谱仪的光谱范围、信噪比或分辨率，并研究了这些配置实际实施所需解决的技术挑战。

邀请人：通信与信息工程学院 张亮教授

欢迎广大教师和学生参加！