基于UV-NIL工艺的存储单元制备关键技术研究

2015.11.03

投稿:谢姚部门:机电工程与自动化学院浏览次数:

活动信息

时间: 2015年11月05日 09:00

地点: 延长校区电机楼二楼会议室


报告专家:刘彦伯 研究员,上海科学院科技发展处

刘彦伯研究员:清华大学机械电子工程专业工学硕士,同济大学机械电子工程专业工学博士,中科院上海微系统与信息技术研究所和上海市纳米中心材料科学与工程博士后,上海市纳米中心博士后工作站合作导师,中国微米纳米技术学会高级会员,上海市高级科技人才联谊会会员,全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会涂层表征与检测分技术委员会委员。近年主要从事机电一体化系统设计开发,纳米电子材料及结构加工、新型存储器件、微纳结构表征和性能测试等方面研究,积累了丰富经验,取得多项创新性成果。

报告内容安排:

1.NIL加工技术

2.存储单元制备

3.存储单元性能分析